巨量转移方式汇总

1.静电力转移技术 静电力转移技术是由LuxVue[1]于2013年提出，通过对转移头通电产生的静电引力或斥力作为拾取和放置微器件的方法。转移装置如图1a所示，单个转移头由带有可独立通电的单电极或双电极凸台构成，并在基板上形成与μLED节距成整数倍相匹配的阵列，μLED阵列从源基板上通过剥离方式释放

posted on 2021-01-18 16:07  挽年_Sonny  阅读(2746)  评论(0)  编辑  收藏  举报

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